【康沃真空網】12月18日消息,中電科電子裝備集團下屬的紅太陽光電公司,成功研制出國內首臺疊舟PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)設備,并于近日順利完成發貨。
在光伏電池的生產流程中,PECVD鍍膜技術因其能夠在低溫下形成高質量、高附著力的薄膜而備受青睞,成為光伏電池制造過程中不可或缺的一環。
然而,當前市場上的常規PECVD設備普遍面臨著同質化競爭嚴重、性能差異細微的問題,行業急需一種能夠顯著提升產能、降低成本、增強穩定性并優化工藝品質的新型設備來打破瓶頸,重塑競爭格局。
紅太陽光電公司此次推出的疊舟PECVD設備,正是針對這一行業痛點而研發的革新之作。該設備摒棄了傳統設備的反應室結構設計,創造性地采用了雙舟疊放技術,通過優化設備內部結構和布局,實現了單管載片量的大幅提升。據悉,該設備的單管載片量從原先的768片躍升至1368片,反應室的空間利用率也隨之提高了8個百分點,達到了50%的領先水平。這一系列改進直接促使單機設備的產能提升了15%,更在能耗效率、運行穩定性以及工藝可靠性等方面實現了顯著提升。通過采用先進的控制技術和優化工藝參數,該設備在確保高質量鍍膜的同時,有效降低了生產成本和能耗水平,為光伏電池的大規模高效生產提供了有力支持。